Nanomessmaschine zur abbefehlerfreien Koordinatenmessung (Nano Measuring Machine for Zero Abbe Offset Coordinate-measuring)

• DOI: 10.1524/teme.2000.67.7-8.319
• Publication Date: 2006-08-29T18:10:17Z
• Authors: E. Jäger; E. Manske; T. Hausotte; H.-J. Büchner
• Keywords: 01 natural sciences; 0104 chemical sciences

Abstract Am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik wird eine Nanomessmaschine die dreidimensionale Koordinatenmessung mit einem Messbereich von 25 mm x 5 einer Auflösung 1,24 nm entwickelt. Das Gerät schließt seiner seinem Gerätelücke in der Koordinatenmesstechnik. Drei Miniaturplanspiegelinterferometer, ein Antastsensor zwei Winkelsensoren werden so angeordnet, dass allen drei Koordinatenachsen abbefehlerfreie Messungen möglich sind. Anwendungsgebiet neuen ist Präzisionsvermessung Kleinteilen Mikrostrukturen.