Оптические свойства лазерных мезаструктур с квантовыми ямами HgCdTe, сформированных методом ионного травления

• DOI: 10.24108/preprints-3113362
• Publication Date: 2025-01-23T12:46:32Z
• Authors: Анна Разова; Владимир Румянцев; Дмитрий Шенгуров; Никита Гусев; Елена Морозова; Владимир Уточкин; Михаил Фадеев; Валерий Вербус; Николай Михайлов; Сергей Дворецкий; Владимир Гавриленко; Сергей Морозов

Гетероструктуры с квантовыми ямами на основе твердых растворов HgCdTe в последнее время рассматриваются как перспективный материал для приложений среднего инфракрасного диапазона, в частности, для создания лазеров. В данной работе исследовано влияние процессов фотолитографии с различными масками и ионного травления на оптические свойства мезаструктур с микродисковыми, микрокольцевыми и гребенчатыми резонаторами, сформированных на основе гетероструктур с квантовыми ямами HgCdTe/CdHgTe. Показана возможность использования предлагаемой технологии для изготовления лазеров диапазона окна прозрачности атмосферы 3 – 5 мкм, работающих при термоэлектрическом охлаждении.