Preparação e determinação de propriedades termomecânicas de TiO2 para aplicação em células solares

• DOI: 10.20396/revpibic262018702
• Publication Date: 2019-03-26T17:01:41Z
• Authors: Julia Carina dos ...; Francisco das Cha...; Rafael B. Merlo
• Keywords: 02 engineering and technology; 0210 nano-technology

Foram preparados filmes compactos de dióxido titânio por Deposição Camadas Atômicas (ALD) para aplicação como blocking layer e camada antirrefletora células solares. Os foram depositados a 200°C recozidos 300°C, 400°C 500°C. feitas caracterizações das propriedades termomecânicas partir medidas da tensão residual em função temperatura uma variedade substratos, qual se obtém o coeficiente dilatação térmica dos filmes; nanoindentação, do determina módulo Young razão Poisson filmes.